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No. Title
22 Area-variable capacitive sensor having a mechanical guide 
21 기계적 가이드를 가지는 면적변화형 정전용량형 센서 
20 전도성고분자 나노와이어 DNA센서 및 그의 제조방법 
19 미세 압전 외팔보 센서 및 이를 위한 발진회로 
18 감지기둥을 갖는 미세질량 측정 센서 
17 초음파 스피커 시스템 
16 Ultrasonic transducer for ranging measurement with high directionality using parametric transmitting array in air and a method for manufacturing same 
15 Ultrasonic transducer for ranging measurement with high directionality using parametric transmitting array in air and a method for manufacturing same 
14 공기중 파라메트릭 트랜스미팅 어레이를 이용한 초지향성 초음파 거리측정을 위한 멤스 기반의 다공진 초음파 트랜스듀서 
13 미세 상호 작용력 측정장치 및 측정방법 
12 마이크로 점도계 
11 회전 측정용 전기적 용량 센서 
10 Probe of scanning probe microscope having a field effect transistor channel and Fabrication method thereof 
9 Probe of scanning probe microscope having a field effect transistor channel and Fabrication method thereof 
8 전계효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 스캐닝 프로브마이크로 스코프의 탐침 및 그 제조방법 
7 Ultrasonic randing system and method thereof in air by using parametric array 
6 Ultrasonic randing system and method thereof in air by using parametric array 
5 초고속 초정밀 대변위 스테이지 
4 CONTACT-TYPE ELECTRIC CAPACITIVE DISPLACEMRNT SENSOR 
3 CONTACT-TYPE ELECTRIC CAPACITIVE DISPLACEMRNT SENSOR 
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